リアルタイム測定のための超高速偏光計測法の開発

大面積化が進む基板ウエハーの歩留まり改善のため、全面欠陥検出を高速で行いたいが、すべての面の欠陥検出を高速・高精度で行うことは非常に難しく、弊社の現行計測法では1秒に10個のデータしか取得できない。一方、最近実証された超高速偏光検出法によると、複屈折や内部応力を1秒に40メガ個記録できるとされており、その実用化を検討したい

ディスプレイの製造工程など、成膜される薄膜の均一性が表示品位を左右する製品の全量検査に必須となる超高速偏光計測法の実現のため、超広帯域レーザ光源の発信周波数を40MHzに設定し、長尺光ファイバー（1km）で決まる波長分散により時間軸に紐づけられた波長、偏光状態を超高速で繰り返すことにより25ナノ秒間隔のスペクトル記録を可能にする光学系を構築。多波長測定に対応する偏光解析法による評価を可能にするPythonプログラムも提示した

大面積化が進む基板ウエハーの全面欠陥計測を可能にする新しい超高速偏光計測法の提供
残留応力（複屈折）のインライン、リアルタイム超高速検査装置の製品化

超広帯域レーザ光源、偏光解析法、波長分散、光ファイバー、分光器